Target: NdFeB-TIG-Co-MoGe-Ti-Pt-Ta-ITO
Créneau | DP850
pulvérisation cathodique Réservations modérées |
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08h00 - 10h00 | |
10h00 - 12h00 | |
12h00 - 14h00 | chgt cibleMaintenance |
14h00 - 16h00 | chgt cible Y-CoCr-ZnO-MoGe-Ti-Pt-Ta-CuMaintenance |
16h00 - 18h00 | Cu-RT-600nmAutonome |
Nuit | Cu-temperatureAutonome |