Target: NdFeB-TIG-YiG-ZnO-Ti-Pt-Ta-ITO
Créneau | DP850
pulvérisation cathodique Réservations modérées |
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08h00 - 10h00 | couches mincesAutonome |
10h00 - 12h00 | Ta/Pt/CoAutonome |
12h00 - 14h00 | NdFeB - parameter studyAutonome |
14h00 - 16h00 | PtCoAlAutonome |
16h00 - 18h00 | depot Pt/Co/AlAutonome |
Nuit | NdFeB - parameter studyAutonome |