Target: LaFeB-NdFeB-DyTb-ZnO-Ti-Pt-Ta-W
Créneau | DP850
pulvérisation cathodique Réservations modérées |
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08h00 - 10h00 | couches mincesAutonome |
10h00 - 12h00 | couches mincesAutonome |
12h00 - 14h00 | couches mincesAutonome |
14h00 - 16h00 | couches mincesAutonome |
16h00 - 18h00 | Dépôt moge Autonome |
Nuit |