Target: Y-CoCr-ZnO-MoGe-Ti-Pt-Ta-Cu
Time slot | DP850
pulvérisation cathodique Moderated reservations |
---|---|
08h00 - 10h00 | |
10h00 - 12h00 |
YCoAutonome D=60mm |
12h00 - 14h00 |
YCoAutonome D=60mm, patterned substrate |
14h00 - 16h00 |
YCoAutonome |
16h00 - 18h00 | |
Nuit |