Target: NdFeB-TIG-Co-MoGe-Ti-Pt-Ta-ITO
Créneau | lundi 10 juin | mardi 11 juin | mercredi 12 juin | jeudi 13 juin | vendredi 14 juin |
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08h00 - 10h00 | couches minces Autonome |
couches minces Autonome |
couches minces Autonome |
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10h00 - 12h00 | couches minces Autonome |
couches minces Autonome |
couches minces Autonome |
Ta-diamfab Autonome |
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12h00 - 14h00 | couches minces Autonome |
couches minces Autonome |
couches minces Autonome |
couches minces Autonome |
maintenance NdFeB-TIG-ZnO-MoGe-Ti-Pt-Ta-Cu Maintenance |
14h00 - 16h00 | couches minces Autonome |
changement de cible Maintenance |
couches minces Autonome |
MoGe-Moira Autonome |
maintenance Maintenance |
16h00 - 18h00 | couches minces farid Autonome |
changement de cible Maintenance |
couches minces Autonome |
Ta-Abel Autonome |
maintenance Maintenance |
Nuit | Pt-850/GeO2 Autonome |
couches minces Autonome |