CNRS Institut Neel
Target:
NdFeB-TIG-YiG-ZnO-Ti-Pt-Ta-ITO
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Domaines :
Ressources :
Légende des réservations
Autonome
Non automone
Maintenance
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Réservations modérées
Target:
NdFeB-TIG-YiG-ZnO-Ti-Pt-Ta-ITO
Pulvérisation cathodique - DP850 (pulvérisation cathodique)
Semaine : lundi 24 juin - dimanche 30 juin
Créneau
lundi 24 juin
mardi 25 juin
mercredi 26 juin
jeudi 27 juin
vendredi 28 juin
08h00 - 10h00
couches minces
Autonome
couches minces
Autonome
Cobalt
Autonome
Hnilica
changement de cible Target: NdFeB-TIG-YiG-ZnO-Ti-Pt-Ta-ITO
Maintenance
10h00 - 12h00
Ta/Pt/Co
Autonome
couches minces
Autonome
couches minces
Pt/Co/Al
Autonome
NdFeB parameter study
Autonome
couches minces
Autonome
12h00 - 14h00
NdFeB - parameter study
Autonome
couches minces
Autonome
Pt/Co/Al
Autonome
couches minces
Autonome
couches minces
Autonome
14h00 - 16h00
PtCoAl
Autonome
Dépôt de TmIG
Autonome
Pt/Co/Al
Autonome
NdFeB parameter study
Autonome
couches minces
Autonome
16h00 - 18h00
depot Pt/Co/Al
Autonome
Pt+etching
Autonome
Hnilica + Francesco Pio Minoia
ZnO
Autonome
ZnO
Autonome
Nuit
NdFeB - parameter study
Autonome
NdFeB parameter study
Autonome
NdFeB parameter study
Autonome
ZnO
Autonome
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