CNRS Institut Neel

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Target: NdFeB-TIG-Co-MoGe-Ti-Pt-Ta-ITO

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Domaines :

Ressources :

Légende des réservations
Autonome	Non automone
Maintenance

Réservations modérées
**Target:** NdFeB-TIG-ZnO-MoGe-Ti-Pt-Ta-Cu

Pulvérisation cathodique - DP850 (pulvérisation cathodique)
Semaine : lundi 27 mai - dimanche 02 juin
Créneau	lundi 27 mai	mardi 28 mai	mercredi 29 mai	jeudi 30 mai	vendredi 31 mai
08h00 - 10h00		couches minces Autonome	YCo Autonome	couches minces Autonome
10h00 - 12h00	YCo Autonome	couches minces Autonome	Pt Hnilica Autonome Pt deposition for electrode	couches minces Autonome
12h00 - 14h00	YCo d=60mm Autonome	maintenance Maintenance	couches minces Autonome
14h00 - 16h00	YCo d=60mm Autonome	maintenance YCo devient YTm Maintenance	couches minces Autonome	YCo Autonome
16h00 - 18h00	Cu-500°C Autonome	Cu150°C Autonome	Cu150°C Autonome	ZnO-palette percée-T1 Autonome	ZnO-palette percée-T2 Autonome
Nuit		couches minces Autonome

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