CNRS Institut Neel
Target: Y-CoCr-ZnO-MoGe-Ti-Pt-Ta-Cu
Target: Y-CoCr-ZnO-MoGe-Ti-Pt-Ta-Cu
| Zeitraum | DP850
pulvérisation cathodique moderierte Reservierungen |
|---|---|
| 08h00 - 10h00 | |
| 10h00 - 12h00 | |
| 12h00 - 14h00 | chgt cibleMaintenance |
| 14h00 - 16h00 | chgt cible Y-CoCr-ZnO-MoGe-Ti-Pt-Ta-CuMaintenance |
| 16h00 - 18h00 | Cu-RT-600nmAutonome |
| Nuit | Cu-temperatureAutonome |
