Créneau | Masqueur NanoBeam
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00h00-01h00 | Litho Giulio
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01h00-02h00 | |
02h00-03h00 | Litho Alexis
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03h00-04h00 | |
04h00-05h00 | |
05h00-06h00 | |
06h00-07h00 | |
07h00-08h00 | |
08h00-09h00 | |
9h00-10h00 | expo 0.5nA Alex A
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10h00-11h00 | expo 0.5nA Alex A
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Load 1 | |
Load 2 | keep chuck4D
Florence |
Load 3 | load CH3 WFD pour Johannes
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Load 4 | Unload CH2-C3
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Load 5 | Unload/load CH4 WFD + keep CH4 WFG + load CH5 WFD WFG Alexis
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Load 6 | unload CH4:A and Ch4:B
Simon |
Load 7 | Load CH3 WFG Dorian
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Load 8 | |
Load 9 | |
Load 10 | |
Load 11 | |
Load 12 | |
Load 13 | |
Load 14 | |
Load 15 | |
---- LOADER MAN ---- | Alex
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12h00-13h00 | |
13h00-14h00 | litho wafer 2" Johannes
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14h00-15h00 | |
15h00-16h00 | |
16h00-17h00 | Expo Seddik
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17h00-18h00 | |
18h00-19h00 | Litho Alexis
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19h00-20h00 | |
20h00-21h00 | |
21h00-22h00 | |
22h00-23h00 | |
23h00-24h00 |