Masqueur NanoBeam
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07h00-08h00 à 9h00-10h00
Litho Seong Yeon
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Load 1
unload CH2 C1 Johannes
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Load 2
UnLoad chuck 1 C1
Seong Yeon
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Load 3
Load CH1 B2 Gwénaëlle
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Load 5
Unload CH1 C2 CH2 A1 A2 A3 A4 CH3 D Raphaël
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Load 6
Load CH4 WFD WFG Alexis
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Load 7
load Ch1 a4 marine
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Load 8
unload CH1 A1 et B1
Quentin G.
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---- LOADER MAN ----
Julien
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12h00-13h00
marine préparation expo
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14h00-15h00 à 15h00-16h00
litho 1 et 30 nA
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16h00-17h00 à 17h00-18h00
expo Jana
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18h00-19h00 à 19h00-20h00
Litho Alexis
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20h00-21h00 à 23h00-24h00
wenmin litho
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9h00-10h00 à 10h00-11h00
Litho Alexis
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Load 1
load CH1 A2 Johannes
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Load 2
Unload Ch1 B2 Gwénaëlle
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Load 3
Unload/load CH4 WFD WFG + load CH5 WFD Alexis
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Load 6
unload Ch4B load CH4A B Wenmin
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---- LOADER MAN ----
Alex
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12h00-13h00 à 13h00-14h00
marine expo
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14h00-15h00
expo 0.5nA Alex A
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16h00-17h00
litho Johannes
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17h00-18h00 à 23h00-24h00
Litho Alexis
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00h00-01h00 à 02h00-03h00
Litho Alexis
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07h00-08h00 à 10h00-11h00
litho Wenmin
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Load 1
unload CH1 A2 Johannes
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Load 2
Unload CH4 WFD CH5 WFD + keep CH4 WFG + load CH4 WFD Alexis
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Load 3
unload Ch4A keep ch4B Wenmin
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Load 4
unload ch1a4 marine
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Load 5
unload Ch1 c1 Jana
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Load 6
unload Ch2 A2 Alex
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Load 8
unload CH1 c1 - Jana
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---- LOADER MAN ----
marine
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17h00-18h00 à 19h00-20h00
Litho Alexis
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20h00-21h00 à 23h00-24h00
litho Wenmin
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Load 1
Unload CH4 WFD WFG Alexis
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Load 2
Load CH2 C2 Raphaël Sania
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Load 3
unload Ch4B Wenmin
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Load 5
Load Chuck1 : A2, B2
Seong Yeon
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Load 6
load CH1 c1 - Jana
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Load 7
load CH1 C2 Johannes
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---- LOADER MAN ----
Thierry
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15h00-16h00 à 17h00-18h00
Expo Raphaël 30nA
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18h00-19h00 à 20h00-21h00
expo Jana
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07h00-08h00 à 9h00-10h00
Expo Seong-Yeon
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10h00-11h00
litho Johannes
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Load 1
Unload CH2 C2 + Load CH2 A1 A2 CH1 A2 B2 Raphaël Sania
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Load 2
Load CH4 WFD Alexis
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Load 3
Unload Chuck1 : A2, B2
Seong Yeon
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Load 4
unload CH1 c1 - Jana
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Load 5
unload CH1 C2 Johannes
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Load 6
marine load ch1 A4
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Load 7
load CH4 A B// CH4 D// CH1 C1 //Wenmin
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---- LOADER MAN ----
marine
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14h00-15h00 à 15h00-16h00
Expo Raphaël 1nA
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16h00-17h00 à 17h00-18h00
expo 39nA marine
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18h00-19h00 à 23h00-24h00
Litho Alexis
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20h00-21h00 à 23h00-24h00
litho wenmin
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19h00-20h00 à 20h00-21h00
litho wenmin
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