Masqueur NanoBeam
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00h00-01h00 à 03h00-04h00
Litho Giulio
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Load 1
Unload CH4 WFG / load CH3 WFG Giulio
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Load 2
Unload CH3 WFG/WFD Vishnu
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Load 3
Unload CH4 WFD Alexis
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Load 4
Load CH4 H gwénaëlle
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Load 5
load Ch4WFD CH4A Wenmin
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---- LOADER MAN ----
Thierry
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14h00-15h00 à 15h00-16h00
litho wenmin
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16h00-17h00 à 17h00-18h00
Litho 1 et 30nA Gwénaëlle
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18h00-19h00 à 21h00-22h00
Litho Giulio
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22h00-23h00 à 23h00-24h00
litho Wenmin
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Load 1
Unload CH3 WFG Giulio
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Load 2
Unload CH4 H gwénaëlle
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Load 3
Load CH3 WFD WFG + CH5 WFD WFG Alexis
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Load 4
Moïra load CH1 A2 B2 CH2 A1 A2 A3 A4
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Load 5
Load Ch4:WFG + CH1:C1
Simon
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Load 6
unload Ch4 WFD CH4A 4B wenmin
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---- LOADER MAN ----
Moïra
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14h00-15h00
Moïra prepa litho
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15h00-16h00 à 16h00-17h00
expo Simon
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17h00-18h00 à 18h00-19h00
Litho Alexis
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20h00-21h00 à 23h00-24h00
Moira 1nA 30nA
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Load 1
Load: CH3WFD Vishnu
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Load 2
Unload CH3 WFD WFG + Unload/load CH5 WFD WFG Alexis
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Load 4
unload Ch4:WFG + CH1:C1
Simon
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Load 5
Load Chuck1 : A2, B2, C2
Seong-Yeon
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Load 6
Load Ch1 A1 B1 + CH3 A
Quentin G.
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---- LOADER MAN ----
Thierry
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13h00-14h00 à 14h00-15h00
Expo 40nA
Quentin G
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18h00-19h00 à 23h00-24h00
Expo Vishnu
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07h00-08h00 à 9h00-10h00
Expo Seong-Yeon
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Load 1
Unload CH5 WFD WFG + Load CH4 WFD WFG Alexis
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Load 2
Unload: CH3WFD Vishnu
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Load 3
unload Chuck1 : A2, B2, C2
Seong Yeon
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Load 4
Unload Ch1 A1 B1 + CH3 A
Quentin G
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Load 5
Moira load ch2 A1 A2 A3 A4 ch1 A2 B2
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---- LOADER MAN ----
Thierry
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13h00-14h00 à 14h00-15h00
expo 30nA TC
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15h00-16h00 à 17h00-18h00
Moïra 1nA 30 nA
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18h00-19h00 à 23h00-24h00
Litho Alexis
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00h00-01h00 à 03h00-04h00
Litho Alexis
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Load 1
Moira unload ch2 A1 A2 A3 A4 ch1 A2 B2
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Load 2
Unload/load CH4 WFD WFG + load CH5 WFD Alexis
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Load 3
unload ch3 wfd thierry
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Load 4
Load CH3 WFD Vishnu
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---- LOADER MAN ----
Thierry
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18h00-19h00 à 20h00-21h00
Litho Alexis
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9h00-10h00 à 10h00-11h00
Litho Vishnu
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12h00-13h00 à 15h00-16h00
Litho Vishnu
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20h00-21h00 à 23h00-24h00
Litho Alexis
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