Masqueur NanoBeam
|
9h00-10h00 à 10h00-11h00
litho Alex 0.5nA
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
Load 1
Load CH3 WFD Giulio
|
Load 2
Unload CH4 WFD WFG Alexis
|
Load 3
unload / Load CH5 WFG/WFD Wael
|
Load 4
Unload ch3 WFD and CH5 WFG and WFD Waël
|
Load 5
Unload Ch1 A2 and B2 Alex
|
Load 6
unload ch1 a1 b1 thierry
|
---- LOADER MAN ----
Thierry
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
18h00-19h00 à 23h00-24h00
Litho Giulio
|
|
00h00-01h00 à 01h00-02h00
Litho Giulio
|
02h00-03h00 à 05h00-06h00
litho wael
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
Load 1
Unload CH3 WFD Giulio
|
Load 2
unload / Load CH5 WFG/WFD Wael
|
Load 3
load CH1 A2 Johannes
|
Load 5
Load CH4 WFD WFG Alexis
|
Load 6
Unload CH4 A B Seb
|
---- LOADER MAN ----
Thierry
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
14h00-15h00 à 15h00-16h00
litho Johannes
|
21h00-22h00 à 23h00-24h00
litho wael
|
|
00h00-01h00 à 02h00-03h00
litho wael
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
Load 1
Unload CH4 WFD WFG + Load CH3 WFG / CH4 WFD WFG Alexis
|
Load 2
unload CH1 A2 Johannes
|
Load 3
unload / Load CH5 WFG/WFD Wael
|
Load 5
load CH1 B2 et C2 et CH2 B5 Gwénaëlle
|
---- LOADER MAN ----
Nicolas Roch
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
14h00-15h00
Litho Seb/Alexis
|
16h00-17h00 à 17h00-18h00
litho Wenmin
|
18h00-19h00 à 23h00-24h00
Litho Alexis
|
|
00h00-01h00 à 03h00-04h00
Litho Alexis
|
05h00-06h00 à 06h00-07h00
litho Wenmin
|
07h00-08h00 à 10h00-11h00
Litho Wael
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
Load 1
Unload CH3 WFG CH4 WFD WFG + load CH3 WFD CH4 WFD WFG Alexis
|
Load 2
unload / Load CH5 WFG/WFD Wael
|
Load 3
KEEP CH1 B2 et C2 et CH2 B5 Gwénaëlle
|
Load 4
Unload CH3 WFD Seb
|
Load 5
Load Ch4 H
Abel + Johanna
|
Load 6
unload Ch1C1 Wenmin
|
Load 7
unload CH1 A2 Johannes
|
---- LOADER MAN ----
Thierry
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
21h00-22h00 à 23h00-24h00
Litho Waël
|
|
00h00-01h00 à 02h00-03h00
Litho Waël
|
9h00-10h00 à 10h00-11h00
Expo 30 nA
Abel + Johanna
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
Load 1
Unload CH3 WFD CH4 WFD WFG + Load CH4 WFG Alexis
|
Load 3
KEEP CH1 B2 et C2 et CH2 B5 Gwénaëlle
|
Load 4
KEEP Ch4 H
Abel + Johanna
|
Load 5
Load CH3 WFG Raphaël
|
Load 6
KEEP CH5WFD and WFD Waël
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
13h00-14h00 à 15h00-16h00
litho 1 nA et 15 nA Gwénaëlle
|
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
----------------------------------------
---------------------------------------------------------------
|
14h00-15h00 à 16h00-17h00
Litho Wael
|
|